[发明专利]用于化学机械抛光的组合物有效
| 申请号： | 00109525.0 | 申请日： | 2000-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1296049A | 公开（公告）日： | 2001-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李吉成;金硕珍;李在锡;张斗远 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平,王维玉 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光组合物,它由A12O3/SiO2复合体基金属氧化物粉末、去离子水和添加剂组成,所述金属氧化物粉末包括A12O3/SiO2复合体作为主要组份。本发明抛光组合物具有很高的去除速率,并在抛光后不产生微划痕,适用于器件晶片表面的全面平整化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 组合 | ||
【主权项】：
1．一种抛光组合物，包含Al2O3/SiO2复合体基金属氧化物粉末、去离子水和添加剂，所述金属氧化物粉末包括Al2O3/SiO2复合体作为主要组份。
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