[发明专利]陶瓷压力传感器及差压传感器无效
| 申请号： | 00111213.9 | 申请日： | 2000-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1123764C | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李士忠;石汝军;李岩;翟鹏;孙洪方;郭益平;王成礼;郑丽娟 | 申请（专利权）人： | 山东省硅酸盐研究设计院 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡绍强,巩同海 |
| 地址： | 255086 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种陶瓷压力传感器及差压传感器，包括基座、膜片的组合和分别设置在基座及膜片上的电极，其特征在于基座和膜片的组合用同一种陶瓷材料增韧的微晶氧化铝陶瓷制作，基座上设置通气孔，基座与膜片对应面上分别设置导电金薄膜电极，电极表面覆盖铅硼硅铝玻璃的绝缘层，电极引出线与位于基座上的专用处理电路连接；陶瓷基座和膜片的周边均用铅硼硅铝玻璃设置一圈凸台，凸台的对应面中间用封接玻璃层密封，电极分别从基座上的金属化小孔或基座侧壁上的金属化沟槽内引出。其蠕变小，反应速度快，温度稳定性好，耐腐蚀，抗干扰和抗过载，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 压力传感器 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷压力传感器，包括基座、膜片的组合和分别设置在基座及膜片上的电极，其特征在于基座和膜片的组合用同一种陶瓷材料增韧的微晶氧化铝陶瓷制作，基座上设置通气孔，基座与膜片对应面上分别设置导电金薄膜电极，电极表面覆盖铅硼硅铝玻璃的绝缘层，电极引出线与位于基座上的专用处理电路连接；陶瓷基座和膜片的周边均用铅硼硅铝玻璃设置一圈凸台，凸台的对应面中间用封接玻璃层密封，电极分别从基座上的金属化小孔或基座侧壁上的金属化沟槽内引出。
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