[发明专利]真空镀膜机无效
| 申请号： | 00113303.9 | 申请日： | 2000-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1311348A | 公开（公告）日： | 2001-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张石权;任小明;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 张石权;黄国兴 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/34 |
| 代理公司： | 湘潭市专利事务所 | 代理人： | 成晓红 |
| 地址： | 411100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机,它主要由两个真空室,采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真空室交替排气组成,它占地面积小,设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降,且产量由传统的24－30轴/小时提高到60轴/小时。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1．一种用于装饰镀的高效真空镀膜机，包括真空室和排气系统，其特征是装有工件架[12]及蒸发电极或磁控溅射源[13]的真空室[11]有两个，且排气系统采用粗、精抽分离的双路排气系统[15][14]分别连通两个真空室[11]对其交替排气，交替蒸镀或溅射镀，交替放气和装卸工件架。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张石权;黄国兴，未经张石权;黄国兴许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00113303.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
