[发明专利]大量程纳米级光栅位移传感器有效
| 申请号： | 00114793.5 | 申请日： | 2000-01-01 |
| 公开（公告）号： | CN1070152C | 公开（公告）日： | 2001-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吕海宝;李圣怡;曹聚亮;戴一帆;苏绍璟;杨华勇;颜树华 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | C01B11/04 | 分类号： | C01B11/04;G01D5/38 |
| 代理公司： | 国防科大专利事务所 | 代理人： | 盛湘饶 |
| 地址： | 41007*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种大量程纳米级光栅位移传感器。本发明涉及一种大量程光栅式精密位移测量技术。该光栅位移传感器的光路部分由激光器、半透半反分光镜、全反镜、光栅、光阑和显微镜头组成。该传感器采用一个低线数长光栅，通过改进光路设计，获得了高倍数光学细分，在配以高倍数电子细分技术后，可实现纳米级分辨率测量的目的。该传感器可以广泛应用于国防、军事工业中的精密位移测量、角度测量和位移量同步比较测量等领域，对提高我国精密机械加工中的检测水平具有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 量程 纳米 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种大量程纳米级光栅位移传感器，包括光路和电路两部分，电路部分由光电转换器(8)和信号调理电路(9)组成，其特征在于：光路部分由激光器(1)、半透半反分光镜(2)、全反镜(3)、光栅(4)、光阑(6)和显微镜头(7)组成，光栅(4)固定在被测物体(5)上，可随被测物体(5)在垂直于光栅(4)法线的方向上移动，激光器(1)、半透半反分光镜(2)、全反镜(3)、光阑(6)和显微镜头(7)安装在固定于地面的机座上；激光器(1)、半透半反分光镜(2)和全反镜(3)位于光栅(4)的左侧，激光器(1)的轴线与半透半反分光镜(2)和全反镜(3)的光心在同一条直线上，且该直线与光栅(4)的轴线平行，光阑(6)和显微镜头(7)依次位于光栅(4)的右侧，其后依次接光电转换器(8)和信号调理电路(9)。
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