[发明专利]超声波振动接合装置无效
| 申请号： | 00118391.5 | 申请日： | 2000-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1152763C | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 佐藤茂;胜见贡;中居诚也 | 申请（专利权）人： | 株式会社厄泰克斯 |
| 主分类号： | B23K20/10 | 分类号： | B23K20/10;H01L21/607 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种超声波振动接合装置，操作者在控制装置上设定振动开始负荷设定值、第1及第2负荷压力设定值、平衡压力设定值、一次接合时间、全接合时间及与接合部分的大小和材料相应的压力曲线的斜度等控制条件，使控制装置控制负荷控制机构部、即气缸的负荷室内部的压力以及构成上下驱动机构部的电动机正转和逆转，使第1和第2构件在从振动开始时刻起经过第1负荷压力设定值逐渐向第2负荷压力设定值上升的负荷下一边接受超声波振动一边被接合。本发明可实现最佳接合。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 振动 接合 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波振动接合装置，利用超声波信号将重叠的多个构件接合，所述接合装置具有：接合机构；用支承在接合机构上的谐振器和装配台对重叠的多个构件进行加压保持的装配机构；与谐振器结合、向谐振器传递超声波振动用的振子，接合机构具有接合作业的上下驱动机构部和接合作业的负荷控制机构部，其特征在于，控制装置根据与负荷控制机构部连接的单元的总重量及被接合构件的大小和材料而设定压力。
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