[发明专利]监测堆料机的操作失效的半导体制造自动化系统与方法无效
| 申请号： | 00118465.2 | 申请日： | 2000-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1155881C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李昌俊;徐庆镇 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | G06F9/00 | 分类号： | G06F9/00;G06F13/00;H01L21/00;G08B21/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于监测用在半导体制造自动系统中的堆料机的操作失效的装置、系统和方法，其中所述堆料机被分为若干操作部分，所述方法包括步骤：a)响应于从堆料机发出的堆料机状态信号产生代表堆料机的操作状态的堆料机状态信息；b)检查堆料机状态信息以更新原来存储的堆料机的操作状态；c)在包含在堆料机中的至少一部分失效时产生警报信号；和d)响应于警报信号产生音频可视警报信号。该方法在堆料机失效时可有效地提供音频可视警报信号。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 堆料机 操作 失效 半导体 制造 自动化 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于监测用于堆放半导体晶片盒的至少一个堆料机的操作失效的装置，其中，所述堆料机被分为若干部分，该装置包括：一个用于响应于从所述堆料机发出的堆料机状态信号产生代表所述堆料机的操作状态的堆料机状态信息的产生装置；一个用于检查堆料机状态信息以更新原来存储的所述堆料机的操作状态的并用于当包含在所述堆料机中的至少一部分失效时产生警报信号的监测装置；和一个用于响应于警报信号产生音频可视警报信号的警报装置，其中，所述堆料机包括：用于把半导体晶片盒装载到所述堆料机或把半导体晶片盒从所述堆料机卸下来的大量人工和自动端口装置；一个用于将半导体晶片盒从所述堆料机拉出或把半导体晶片盒推入所述堆料机的自动操纵臂装置；一个堆放半导体晶片盒的堆集装置；检测所述人工和自动端口装置、所述自动操纵臂装置、所述堆集装置的每一个的移动性以对所述产生装置提供堆料机状态信号的多个检测装置。
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