[发明专利]曝光装置和方法、光盘驱动器及记录和/或再现方法无效
申请号: | 00120347.9 | 申请日: | 2000-07-07 |
公开(公告)号: | CN1280360A | 公开(公告)日: | 2001-01-17 |
发明(设计)人: | 今西慎悟 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | G11B7/08 | 分类号: | G11B7/08;G11B7/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 吴蓉军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 为了高精度地控制在近场区域中的间隙长度,曝光装置包括发射曝光激光的曝光光源(11);发射其波长与曝光激光不同的间隙长度控制激光的间隙长度控制光源(16);将间隙长度控制间隙投射到聚光镜(14)和固态浸没透镜(SIL)(15)的聚光镜(17a)、准直透镜(17b)和分色镜(12);和检测来自SIL(15)的出射表面(15b)的间隙长度控制激光的返回部分强度的光检测器(22)。于是,在曝光装置中,根据来自光检测器(22)的检测回光强度控制在SILL(15)和对象(100)之间的间隙。 | ||
搜索关键词: | 曝光 装置 方法 光盘驱动器 记录 再现 | ||
【主权项】:
1.一种曝光装置,具有与对象相对设置并在所述对象的近场中的会聚透镜以将曝光激光聚光在所述对象上,其特征在于,所述装置包括:发射所述曝光激光的曝光光源;发射其波长与所述曝光激光不同的间隙长度控制激光的间隙长度控制光源;用于将所述间隙长度控制激光投射到所述会聚透镜的装置;用于检测来自与所述对象相对的所述会聚透镜表面的所述间隙长度控制激光的返回部分强度的装置;和用于根据由所述光强度检测装置检测到的所述光强度,控制在所述会聚透镜和所述对象之间的所述间隙长度的装置。
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