[发明专利]面发射等边三角形谐振腔激光器无效
| 申请号： | 00123775.6 | 申请日： | 2000-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1114978C | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 黄永箴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/18 | 分类号： | H01S5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种面发射等边三角形谐振腔激光器，其是具有输出波导的由一个等边三角形构成的三角形谐振腔和使输出波导中的输出光偏转90°的斜面的面发射半导体激光器，结构由下限制层，有源区和上限制层构成的平板波导，等边三角形外部区域腐蚀到下限制层或衬底，而未腐蚀的等边三角形区域作为谐振腔，三角形边作为反射镜面，在三角形的角区或边上与波导相连接或耦合，而且有一斜面与输出波导相交使输出光偏转90°形成面发射输出。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 等边三角形 谐振腔 激光器 | ||
【主权项】：
1、一种面发射等边三角形谐振腔激光器，其是具有输出波导的由一个等边三角形构成的三角形谐振腔和使输出波导中的输出光偏转90°的斜面的面发射半导体激光器，结构包括由下限制层，有源区和上限制层构成的平板波导，其特征在于：其中等边三角形外部区域腐蚀到下限制层或衬底，而未腐蚀的等边三角形区域作为谐振腔，三角形边作为反射镜面，输出波导的一端与三角形谐振腔的角区或边上相连接或耦合，而输出波导另一端用选择化学腐蚀或在一倾斜角度下干法刻蚀形成斜面这一斜面使输出光偏转90°形成面发射输出。
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