[发明专利]一种制备锆钛酸铅厚膜的方法

摘要

本发明涉及一种新的制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法，属于陶瓷厚膜的制备领域。本方法的要点是制备一种特殊的前驱液，这种前驱液是由Pb，Zr，Ti的水解物的聚集物与Pb Zr_(1-x)Ti_xO₃(简写PZT)溶液混合而成。Pb，Zr，Ti的水解物和PZT溶液具有相同的化学配比：Pb∶Zr∶Ti＝1∶X∶(1-X)0≤X≤1。这种前驱液通过甩胶淀积在衬底上，然后经热解、退火处理后在衬底上形成结晶的PZT厚膜。本方法具有容易制备厚的膜层、不易开裂，性能均匀且优异等的特点。

主权项

1、一种制备锆钛酸铅厚膜的方法，包括前驱液的制备、甩胶成膜、烘干、高温下退火，其特征在于：(1)前驱液是由Pb，Zr，Ti的水解物的聚集体加入到化学配比相同的Pb，Zr，Ti三元混合溶液中，加入量为0.1-0.5克/毫升；(2)将前驱液沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上，膜的厚度依赖于前驱液中聚集体的加入量和甩胶速度和次数；(3)每次甩胶后湿膜先经350℃前烘，重复5-10次，达到所需的膜厚，再在600℃-700℃氧气氛下退火20分钟，使膜的组成从无定形转变成钙钛矿形。