[发明专利]薄膜电路材料的激光成象无效
| 申请号： | 00128400.2 | 申请日： | 2000-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1321060A | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | W·E·纳克尔;R·W·卡彭特 | 申请（专利权）人： | 莫顿国际公司 |
| 主分类号： | H05K3/02 | 分类号： | H05K3/02;H01L27/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 形成薄膜电气组件的方法,包括将具有所需电气性能的薄膜沉积在异质基底上,用计算机导向激光器的热能除去该薄膜的选定部分。根据本发明的一个方面,该薄膜为导电材料,例如铂或掺杂铂,且该基底为金属箔,例如铜箔。激光产生的热能烧蚀掉部分薄膜。根据本发明的另一个方面,在介电材料基底上沉积零价金属层,该基底的熔点或分解温度比零价金属的明显高。用计算机导向激光器将该零价金属层形成图案以形成电路组件,该激光提供的热能足以汽化掉零价金属层上的选定部分。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电路 材料 激光 成象 | ||
【主权项】：
1．一种薄膜电路组件的制造方法，包括在不同材料的基底上沉积材料薄层，并将所述薄层的选定部分暴露在计算机导向激光器提供的热能中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于莫顿国际公司，未经莫顿国际公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00128400.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种纯低度酒
- 下一篇：未增强的热塑性模塑组合物
