[发明专利]适于制造模板等光学配准载体的设备无效
| 申请号： | 00128966.7 | 申请日： | 2000-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1163876C | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | H·T·L·P·斯托克斯 | 申请（专利权）人： | OTB集团公司 |
| 主分类号： | G11B7/135 | 分类号： | G11B7/135;G11B7/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 钱尉民 |
| 地址： | 荷兰 伊*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种适于制造诸如模板等光学配准载体的设备。设备包括用于所述光学配准载体的支撑件；至少第一和第二光源，所述第一和第二光源的光波长彼此不同；以及物镜，它位于所述光源和所述支撑件之间，可以相对所述光源移动。将一校正透镜安装在第一光源和物镜之间，校正透镜与物镜一起移动。当物镜和校正透镜相对光源作各种移动时，两个光源的焦点基本上重合。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 制造 模板 光学 载体 设备 | ||
【主权项】：
1.一种适于制造模板等光学配准载体的设备，所述设备包括用于所述光学配准载体的支撑件；至少第一和第二光源，所述第一和第二光源的光波长彼此不同；以及物镜，它位于所述光源和所述支撑件之间，可以相对所述光源移动，其特征在于，有一校正透镜位于第一光源和物镜之间，校正透镜与物镜一起移动，在物镜和校正透镜相对光源作各种移动时，两个光源的焦点至少基本上重合。
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