[发明专利]半导体装置无效
| 申请号： | 00129299.4 | 申请日： | 2000-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1291065A | 公开（公告）日： | 2001-04-11 |
| 发明（设计）人： | 大川重明;大古田敏幸;大林义昭;安田护;佐伯真一;大泽周治 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社;星电株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H01L27/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯,叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于防止在半导体驻极体电容话筒中使用的半导体衬底上形成的电子电路的误操作。在半导体衬底11上形成固定电极层12,通过衬垫14设置了振动膜16。将振动膜16的尺寸形成得比固定电极层12的尺寸大,由于将振动膜16作为一种结构要产生寄生电容,故在其间配置屏蔽金属33。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1．一种半导体装置，其特征在于：具备：在半导体衬底的表面上形成的固定电极层；在上述固定电极层的周围的上述半导体衬底表面上形成的电子电路；以及安装与上述固定电极层成对地形成电容器的振动膜用的衬垫，用屏蔽金属覆盖了上述电子电路。
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