[发明专利]用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材无效
| 申请号： | 00129797.X | 申请日： | 2000-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1142554C | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 赵大庆;庄大明;方玲;梁展鸿;俞锦方;沈淦荣;杨伟方 | 申请（专利权）人： | 清华大学;浙江金洲集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01B1/08 | 分类号： | H01B1/08;C04B35/01 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光电材料技术领域，涉及用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材。其特征在于，用纯度不低于99.9％的氧化锌粉末与纯度不低于99.9％的氧化铝粉末或纯铝粉末相互混合均匀，烧结成密度不低于理论密度的94％的块体，用该靶材制备透明导电薄膜的电阻率达10-4Ω.cm量级。本发明具有成分简单、经济、膜基附着力强，使用寿命长、性能好，镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。用于镀膜制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好，是ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极领域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 透明 导电 薄膜 氧化物 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材，其特征在于，用纯度不低于99.9％的氧化锌粉末与纯度不低于99.9％的氧化铝粉末相互混均匀，烧结成密度不低于理论密度的94％的块体，其中所说的氧化铝粉末占总质量的1-6％，用该靶材制备透明导电薄膜的电阻率为(7.2-5.6)×10-4Ω.cm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;浙江金洲集团股份有限公司，未经清华大学;浙江金洲集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00129797.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
