[发明专利]镀膜玻璃生产抽真空的方法无效
| 申请号： | 00131238.3 | 申请日： | 2000-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1147445C | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郭明;陈功;杨真理 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶润镀膜玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/22 |
| 代理公司： | 郑州中民专利代理有限公司 | 代理人： | 郭中民 |
| 地址： | 471003河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于镀膜玻璃生产技术。本发明提出的方法为：在真空泵将镀膜室真空度抽到0.12Pa时，通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次2-4分钟，每半小时一次，至镀膜室真空度达到要求(1.2×10-3Pa)。采用本发明方法，镀膜室真空度在短时通大气后抽真空到满足生产要求，可节约时间10小时左右，在更换镀膜室护板和辊子后抽真空到满足生产要求，可节约时间30小时左右。增加了相应的生产时间，减少了相应的抽真空能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 玻璃 生产 真空 方法 | ||
【主权项】：
1、一种镀膜玻璃生产抽真空的方法，其特征是：使用真空泵将镀膜室抽真空，在抽到真空度为0.12Pa时，通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次溅射2-4分钟，每半小时一次，至镀膜室真空度达到1.2×10-3Pa。
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