[发明专利]用于有机发光显示屏制作中的对板方法无效
申请号: | 00131359.2 | 申请日: | 2000-11-01 |
公开(公告)号: | CN1150498C | 公开(公告)日: | 2004-05-19 |
发明(设计)人: | 李峰;赵毅;杨开霞;刘式墉 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G09F9/30 | 分类号: | G09F9/30 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 崔丽娟 |
地址: | 130012吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种在有机电致发光显示器件制作过程中的真空室外的对板技术,它是在基板上预先蒸镀上金属电极,然后在真空室外根据预先蒸镀上的金属电极的位置进行对板,这样只要真空室内的金属掩模板的位置保持不变,蒸镀出的金属电极的位置就和基板上预先蒸镀的金属电极的位置吻合。 | ||
搜索关键词: | 用于 有机 发光 显示屏 制作 中的 方法 | ||
【主权项】:
1、一种用于有机发光显示屏制作中的对板方法,其特征在于:首先直接将基板置于真空室内,在真空条件下,利用掩模蒸镀的方法在基板上蒸镀上一层金属条;之后从真空室内取出基板,将光刻好的镀有锡铟氧化物的导电玻璃固定在基板上,通过显微镜和微动装置使需要搭接金属电极的锡铟氧化物条和基板上的金属电极条搭接好;然后将基板置于真空室内,在真空条件下蒸镀完有机薄膜,当蒸镀金属电极时,将蒸镀金属电极的掩模板还置于上次蒸镀的固定位置,使蒸镀金属电极的掩模板和基板的相对位置保持不变,这样蒸镀在锡铟氧化物导电玻璃上的金属电极和基板上的金属电极的位置完全吻合,从而和作为引线的锡铟氧化物条搭接上。
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