[发明专利]有机真空镀膜掩膜板的制作方法无效
| 申请号： | 00131360.6 | 申请日： | 2000-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1132961C | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 高文宝;李传南;杨开霞;刘式墉 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 崔丽娟 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中，用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术，它是在线切割及光刻腐蚀的基础上，利用齿(8)、槽(9)对镍铬合金丝(12)进行限位，从而形成精细的掩膜板，分辨率为3条线/mm，可实现平板显示屏的矩阵选址。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 真空镀膜 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于有机真空镀膜的条状掩膜板，其特征在于掩膜板上的掩膜条线是由通过齿(8)和槽(9)固定的合金丝(12)而形成，并且其两端焊在掩膜板背部(16)附有焊锡(11)的铁条(10)上。
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