[发明专利]片式电阻刻蚀的激光脉宽可调控制方法

摘要

本发明属于激光精细加工领域，涉及到片式电阻激光刻蚀中通过调整激光器输出脉冲宽度进行加工工艺控制的方法。本发明在传统的片式电阻激光刻蚀中增加了对激光器输出脉冲宽度的控制，使单纯依靠调整激光器的输出功率和脉冲频率来选择不同阻值的最佳工艺参数的匹配空间增大了，对数百种的片式电阻工艺控制参数更容易找到最佳匹配值。使激光调阻机主要采用的工艺控制参数由一般的四种扩大到五种。缩短了工艺调整时间，扩大了工艺调整范围，增强了激光调阻机的工艺控制能力。

主权项

1、一种片式电阻刻蚀的激光脉宽可调的控制方法，在电阻刻蚀设备中主要包括计算机调阻工艺参数数据库、光束定向器控制单元、YAG激光器调Q外同步控制接口、YAG激光器以及激光扩束、聚焦部件，其特征在于：(1)可编程脉冲发生器包括单片机、译码电路和定时器，利用单片机对定时器进行计数编程，用设定的计数值控制输出脉冲宽度，实现脉宽的连续可调输出，通过可编程脉冲发生器对YAG激光器的脉冲宽度和频率进行编程控制，可编程脉冲发生器产生脉宽及频率信号控制激光器的调Q开关同步工作，产生脉宽及频率可编程控制的脉冲激光，脉冲激光通过相应的光路扩束聚焦，定向在电阻基片上，在光束定向器控制单元作用下，完成一次电阻基片的扫描刻蚀；(2)光束定向器控制YAG激光按设定的速度进行光束扫描，YAG激光器按所选激光功率、通过可编程脉冲发生器按编程的脉冲宽度和脉冲频率参数对片式电阻进行扫描刻蚀，刻蚀后的电阻基片经后续工艺检测判断其是否符合要求，若满足需要，则将相应的YAG激光器控制参数保留在计算机的工艺参数数据库中，否则修改上述参数，重新刻蚀电阻基片，直到找到激光刻蚀控制参数脉宽、功率、频率、速度、重叠率的最佳匹配，进行电阻基片的批量生产。