[发明专利]静电放电防护元件及相关的电路有效
申请号: | 00132956.1 | 申请日: | 2000-11-16 |
公开(公告)号: | CN1167129C | 公开(公告)日: | 2004-09-15 |
发明(设计)人: | 柯明道;林耿立 | 申请(专利权)人: | 世界先进积体电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 黄敏 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提出一种ESD防护元件以及相关的ESD防护电路。本发明的ESD防护元件是以冗余的栅结构来取代公知LVTSCR中ESD电流必须绕行经过的STI层。如此,冗余的栅结构一方面可以提供掺杂区的隔离效果,另一方面,又不会阻碍了ESD事件发生时ESD电流的放电路径。可以提高了LVTSCR的导通速度与ESD耐受力。 | ||
搜索关键词: | 静电 放电 防护 元件 相关 电路 | ||
【主权项】:
1.一种静电放电防护元件,包含有:一第一导电型的第一阱区;一第二导电型的第二阱区,邻接于该第一阱区,与该第一阱区形成一接面;一第一导电型的金属氧化物半导体晶体管,包含有:一控制栅,设于该第二阱区上;一第一导电型的第一漏/源极区,形成于该接面上;以及一第一导电型的第二漏/源极区,形成于该第二阱区表面,耦合于一第一接合垫;一第二导电型的第一掺杂区,耦合于一第二接合垫,形成于该第一阱区的表面,与该第一阱区、该第二阱区以及该第二漏/源极构成一侧向半导体控制整流器;一第一导电型的第二掺杂区,形成于该第一掺杂区与该第一漏/源极区之间的第一阱区表面;以及一冗余栅,设于该第二掺杂区与该第一漏/源极区之间的第一阱区上。
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