[发明专利]测量角速率的微机电系统无效
| 申请号： | 00137735.3 | 申请日： | 2000-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1344908A | 公开（公告）日： | 2002-04-17 |
| 发明（设计）人： | 林清芳 | 申请（专利权）人： | 林清芳 |
| 主分类号： | G01C21/00 | 分类号： | G01C21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 测量载体角速率的微机电系统包括角速率传感器单元,微电子电路,及信号处理电路,以便在动态环境中获得高精度,高敏感度,稳定的载体角速率测量。角速率传感器单元接收振动驱动信号,电容检出激励信号,和位移恢复信号,以输出对应于载体运动和振动运动信号的角速率信号;中心电路接收对应于载体运动和振动运动信号的角速率信号,以输出角速率信号和数字低频惯性元件位移信号;一数字信号处理系统分析数字低频惯性元件位移信号,把振动驱动信号反馈给角速率传感器单元。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 速率 微机 系统 | ||
【主权项】：
1.一测量载体角速率的微机电系统，包含：(1)一角速率敏感器单元，用以接收振动驱动信号，电容检出激励信号，和位移恢复信号，以输出对应于所述载体运动和振动运动的信号；(2)一中心电路，用以接收所述对应于所述载体所述运动和所述振动运动信号，以输出角速率信号和低频惯性元件位移信号；(3)一数字信号处理系统，用以分析所述数字低频惯性元件位移信号，以反馈振动驱动信号到所述角速率传感器单元。
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