[实用新型]集成式大流量磷化氢减压释放装置无效
| 申请号： | 00234062.3 | 申请日： | 2000-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN2444424Y | 公开（公告）日： | 2001-08-29 |
| 发明（设计）人： | 方庆琯 | 申请（专利权）人： | 深圳达实智能股份有限公司 |
| 主分类号： | A23B9/18 | 分类号： | A23B9/18;A01M13/00 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磷化氢气体减压释放装置,包括一加热器;一进口管接头;一出口管接头;以及一减压器;其特征在于所述加热器包括集成块体;流道,设置于所述集成块体内,一端通过所述进口管接头与高压气瓶密封连接,另一端通过所述出口管接头与所述减压器密封连接;加热热源,均布插装于所述集成块体中;以及温度控制机构,设置于所述集成块体上。本实用新型释放流量大于25升/分钟,可自动将PH3温度控制在安全范围内,便于集成安装。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 流量 磷化氢 减压 释放 装置 | ||
【主权项】：
1．一种磷化氢减压释放装置，包括一加热器，其一端连接高压气瓶；一进口管接头，固定设置于所述加热器的一端；一出口管接头，固定设置于所述加热器的另一端；以及一减压器，其一端连接所述加热器，另一端与流量计连接；其特征在于所述加热器包括集成块体；流道，设置于所述集成块体内，一端通过所述进口管接头与高压气瓶密封连接，另一端通过所述出口管接头与所述减压器密封连接；加热热源，均布插装于所述集成块体中；以及温度控制机构，设置于所述集成块体上。
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