[实用新型]环型镀膜室无效
| 申请号： | 00247120.5 | 申请日： | 2000-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN2443973Y | 公开（公告）日： | 2001-08-22 |
| 发明（设计）人： | 许生;王建峰;李自鹏;颜远全 | 申请（专利权）人： | 深圳威士达真空系统工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 王雄杰 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种环型镀膜室,包括真空室和平移架,在平行结构的真空室前端侧面之间设置平移架,在平行结构的真空室后端口分别设置具90度旋转装置的真空室,90度旋转装置是由放置基片架的导轨、导轨传动机构、圆弧形导轨和旋转机构组成,旋转机构的旋转底座位于圆弧形导轨的中心支撑放置基片架的导轨。本实用新型结构构合理、使用方便、实现高效率双面生产。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 | ||
【主权项】：
一种环型镀膜室，包括真空室和平移架，其特征在于：在平行结构的真空室前端侧面之间设置平移架，在平行结构的真空室后端口分别设置具90度旋转装置的真空室，90度旋转装置是由放置基片架的导轨、导轨传动机构、园弧形导轨和旋转机构组成，放置基片架的导轨跨置在两个对称分布的园弧形导轨上，导轨传动机构包括电机、电磁离合器、基架传动轴和伞齿轮，电机经电磁离合器、传动轴、伞齿轮驱动放置基片架的导轨传动轴，旋转机构包括旋转气缸、气缸轴、主动轮、被动轮和旋转底座，旋转气缸的气缸轴接主动轮、经被动轮传动旋转底座，旋转底座位于园弧形导轨的中心支撑放置基片架的导轨。
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