[实用新型]喷嘴的调整装置无效
| 申请号： | 00260633.X | 申请日： | 2000-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN2472817Y | 公开（公告）日： | 2002-01-23 |
| 发明（设计）人： | 董福庆;陈家铭;黄振荣;王家康;彼德 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B05B1/00 | 分类号： | B05B1/00;B05B1/06;B05B3/02 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤,陈红 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种喷嘴的调整装置,包括由上盖与旋转夹盘形成的反应室;喷头与喷嘴机构,该喷头具有数个合适角度的斜孔槽与球座,喷嘴可调整适当的倾斜角度;用于调整喷头与反应上盖的喷头水平调整机构;及还包括喷洒臂旋转机构。当晶片置于夹盘后,化学品由压缩气体压送至喷洒系统管路,并经不同喷嘴喷洒至旋转的晶片表面,该装置可同时适用于密闭与开放式晶片反应室,喷头并具有特有角度设计与水平调整、高度调整功能并具有制程弹性化。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 调整 装置 | ||
【主权项】：
1、一种喷嘴的调整装置，其特征是包括：一反应室，其由一反应室上盖与旋转夹盘形成；及一喷头与喷嘴机构，该喷头具有数个合适角度的斜孔槽与球座，以结合喷嘴与球接头，而每一斜孔槽各有一喷嘴压板盖住球接头，而喷嘴上端以弯管连接至供酸系统，该喷头上端具有喷头盖板，反应室上盖连接至喷头的下端；及喷头水平调整机构，其连接板与喷头盖板相接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00260633.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种滚筒洗衣机的加热管支架及滚筒洗衣机
- 下一篇：干衣机
