[发明专利]光抽样装置和包括该装置的投影系统无效
| 申请号： | 00801245.8 | 申请日： | 2000-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1337011A | 公开（公告）日： | 2002-02-20 |
| 发明（设计）人： | Y·维斯曼;Y·丹克纳;M·阿洛尼 | 申请（专利权）人： | 科姆维尤绘图有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G03B21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 陈景峻 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学设备,包括光源,在面对所述光源的一侧具有反射面的反射器,用于接收光,所述反射面中具有小中断,抽样装置位于所述反射器的相反一侧,与该小中断对准,用于提取被所述反射面接收的光的样品。 | ||
| 搜索关键词： | 抽样 装置 包括 投影 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学设备，包括：光源；在面对所述光源的一侧具有反射面的反射器，用于接收光，所述反射面中具有小的中断；抽样装置位于所述反射器的相反一侧，与其中的所述小的中断对准，用于提取被所述反射面接收的光的样品。
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