[发明专利]具有规定的表面形状的物品的制造方法及光波导元件

摘要

提供可以低成本地制造具有耐热性、耐试剂性及尺寸精度优良的规定表面形状的物品、以及耐热性、耐试剂性强、折射率大，在近红外区域的通信波长的吸收小，满足可信度及在光通讯区域的低损失的光波导以及其制造方法。将溶胶凝胶材料密接于基材和成形模之间膜状配置，然后加热具有转印所述成形模的表面形状的形状的表面的凝胶化膜包覆于基材表面，得到具有规定表面形状的物品的制造方法。所述溶胶凝胶材料含有二烷基二烷氧基硅烷(或二烷基二卤素硅烷)、及芳基或取代芳基三烷氧基硅烷(或芳基或取代芳基三卤代硅烷)中的至少一种，并且含有氟代烷基三烷氧基硅烷(或氟代烷基三卤硅烷)，由此可以利用上述方法制造具有规定表面形状的物品。

主权项

1、一种具有规定表面形状的物品的制造方法，是将溶胶凝胶材料密接于基材和成形模之间，膜状配置，然后加热，具有使所述成形模的表面形状转印的形状的表面的凝胶化膜包覆于基材表面，而制造具有规定表面形状的物品的方法；其特征在于，所述溶胶凝胶材料含有(A)、(B)中的至少一种，并且含有(C)，其中(A)为下式(1)所示的硅烷化合物R21SiX2…(1)这里R1为碳原子数1～3的烷基，并且X为碳原子数1～4的烷氧基或卤原子；并且(B)为下式(2)所示的硅烷化合物R2SiY3…(2)这里R2为芳基或取代芳基，Y为碳原子数1～4的烷氧基或卤原子，并且(C)为下式(3)所示的硅烷化合物R3SiZ3…(3)这里R3为含氟烷基，Z为碳原子数1～4的烷氧基或卤原子，所述溶胶凝胶材料，以(A)成分、(B)成分及(C)成分的总摩尔数计，含有0～95％摩尔的(A)成分、0～95％的(B)成分、并且含有5～70摩尔％的(C)成分，(A)成分和(B)成分的总量为30～95摩尔％。