[发明专利]受光器件阵列和受光器件阵列芯片

摘要

提供可以减小受光器件阵列的尺寸和节距,并可以减小对相邻的受光器件的串扰的受光器件阵列。它是一种对半导体层层叠构成的受光器件进行隔离刻蚀的台面式构造的受光器件阵列,在n型InP衬底上,叠层n型InP层、i型InGaAs层(光吸收层)和p型InP层(窗口层),对InGaAs层和p型InP层进行刻蚀使器件间进行隔离,覆盖绝缘膜,在各个受光器件的p型InP层上形成p型欧姆电极,在n型InP衬底的背面上形成共通的n型欧姆电极。

主权项

1.一种把多个由pin光电二极管构成的受光器件排列起来的受光器件阵列，其特征是：上述pin光电二极管，具备：n型半导体衬底，在上述n型半导体衬底上层叠的n型半导体层、i型半导体层、p型半导体层，上述p型半导体层和上述i型半导体层，用相邻的p型半导体层和i型半导体层和隔离沟隔离开来，在上述p型半导体层上设置的p型电极，以及在上述n型半导体衬底的背面上设置的共通的n型电极。