[发明专利]包含防闭锁电感器的集成电路及其制造方法有效
| 申请号： | 00803812.0 | 申请日： | 2000-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1340214A | 公开（公告）日： | 2002-03-13 |
| 发明（设计）人： | K·波林;U·马努松;O·泰斯特德特 | 申请（专利权）人： | 艾利森电话股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/36 | 分类号： | H01L29/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,李亚非 |
| 地址： | 瑞典斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及到高频应用的集成电路,它包含高电阻率衬底(31)、有源元件(37和41)、以及所述衬底上方的电感器(45),从而有源元件和电感器被排列成主要横向分隔开。根据本发明,低电阻率层(33)被包含在有源元件下方,并横向分隔于电感器。本发明还涉及到制造所述半导体器件的方法,确切地说,此方法包含将二个新的工艺步骤,亦即一个掩蔽步骤和一个掺杂步骤,分别增加到已知的工艺中。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 闭锁 电感器 集成电路 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高频应用的优选集成电路，它包含高电阻率的衬底(31)、所述衬底中的有源元件(37和41)、以及所述衬底上方的电感器(45)，电路器件和电感器被排列成主要横向分隔开，其特征在于排列在所述有源元件(37和41)下方并横向分隔于电感器(45)的低电阻率层(33)。
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