[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法有效
申请号: | 00804068.0 | 申请日: | 2000-12-14 |
公开(公告)号: | CN1341080A | 公开(公告)日: | 2002-03-20 |
发明(设计)人: | W·维德克;J·莱斯特 | 申请(专利权)人: | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
主分类号: | C03B19/09 | 分类号: | C03B19/09;C30B15/10;C30B35/00;C03C3/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢新华,谭明胜 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种石英玻璃坩埚,该坩埚具有围绕旋转轴对称的不透明石英玻璃坩埚体,该坩埚体具有不透明石英玻璃的外区(3),外区(3)径向向内向密度至少为2.15g/cm3的透明石英玻璃的内区(4)过渡,该石英玻璃坩埚的特点表现在高纯度和高不透性,或在IR-区的低透射,本发明建议,坩埚体(1)由一种比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g的、捣实密度至少为0.8g/cm3的合成SiO2-颗粒物制成,该颗粒物由SiO2基粒的至少部分多孔的聚集物构成。本发明的这种石英玻璃坩埚的制造方法的特征在于,为了制造该坩埚,采用由合成制造的SiO2-基粒的至少部分多孔的聚集体形成的SiO2-颗粒物,其比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g,而且加热这样进行,即由透明石英玻璃形成内区(4)时,玻璃化锋面由内向外移动。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种石英玻璃坩埚,它具有围绕旋转轴对称的不透明石英玻璃坩埚体,该坩埚体具有不透明石英玻璃的外区(3),该外区径向向内向密度至少为2.15g/cm3的透明石英玻璃的内区(4)过渡,其特征在于,坩埚体(1)由比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g的、捣实密度至少为0.8g/cm3的合成SiO2-颗粒物制成,该颗粒物由SiO2-基粒的至少部分多孔的聚集体构成。
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