[发明专利]悬臂式微结构的方法和装置无效
| 申请号： | 00804750.2 | 申请日： | 2000-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1343318A | 公开（公告）日： | 2002-04-03 |
| 发明（设计）人： | 伯克朗·比欣;凯姆·Y·劳;理查德·S·穆勒 | 申请（专利权）人： | 加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 描述了悬臂式微结构装置和方法。一种示例性的悬臂式微结构装置包括一基底、一悬臂和一挡板。该悬臂可以通过一挠性物与该基底连接在一起,使得该悬臂可在第一角度取向和第二角度取向之间运动。当悬臂处于第二角度取向时,该挡板可在接触区内与悬臂的底部相接触。或者,可以将挡板设计为在一定大小的接触区内与该悬臂相接触,使得当在该悬臂与挡板之间施加一静电偏压时,一足够大的力使该悬臂背离该挡板。或者,该挡板可以具有一个大体上的平表面,被设计为可在一定大小的接触区内与该悬臂相接触,当将一个力施加给与挡板的该大体上的平表面基本垂直的悬臂时,一足够大的力使悬臂背离挡板,从而使悬臂处于一与挡板的该大体上的平表面基本平行的平面内。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 式微 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：一基底；一悬臂，其具有一与该基底相连接的底部，以使此悬臂可以在第一角度取向和第二角度取向之间运动；以及一挡板，当该悬臂处于第二角度取向时，此挡板在接触区内与该悬臂的底部相接触。
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