[发明专利]包含具有工作频率的微机械谐振器的装置及扩展该频率的方法

摘要

用多晶硅表面微加工工艺制造一种弯曲振动的微机构谐振器,该谐振器采用非侵入的支持构件在30～90MHz的VHF频率取得高达8400的Q值。本发明还公开一种增加谐振器以及其它类似微机构谐振器操作频率的方法。方法的一个实施例称作差动信号法。方法的另一实施例称作微凹部下降法。支承构件包括形为梁的一个或多个扭转式支承簧(16),这种梁由于四分之一波长阻力变换而可有效地使谐振器梁与其锚定件18隔振,可尽可能减小锚定损耗,并可使谐振器达到高的Q值,而且在VHF频率范围内具有高度刚性。谐振器还包括一个或多个形成在弯曲谐振梁(12)或底衬上的形为微凹部的间隔器(26)。在操作时,微凹部(26)确定谐振器的电容换能器间隙。当在驱动电极(20)和谐振梁(12)之间加上大的直流偏压时,该微凹部(26)在弯曲谐振器梁(12)和驱动电极(20)之间形成预定的最小距离。

主权项

1.一种包含微机械谐振器的装置，该谐振器具有操作频率和在底衬上形成的谐振器梁，改进包括：非侵入式支承构件锚定在底衬上，以便将谐振器梁支承在底衬的上面，该支承构件包括至少一个扭转梁，该梁的尺寸等于谐振器操作频率的有效四分之一波长，其特征在于，在谐振器梁的至少一个弯曲节点上固定至少一个扭转梁，使得该谐振梁在横向运动上基本上没有阻力；而且该谐振器是高Q值谐振器。