[发明专利]用于运送物品的方法和设备无效
| 申请号： | 00805463.0 | 申请日： | 2000-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1154153C | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | A·G·坦诺斯;K·马克哈姆雷;J·米勒 | 申请（专利权）人： | 联合讯号公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;林长安 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一个实施例中，车(5)具有一个配装在第二容器(90)内的第一容器(10)并用于运送和存放集成电路基片。该集成电路基片放置在第一容器(10)内，而且第一容器(10)的门(18)被关闭并密封贴靠在门密封件(24)上。接下来，用氮气对第一容器(10)进行清洗，以从第一容器(10)的内部排出潮气和活性气体。完成清洗后，接着将第一容器(10)放置在第二容器(90)内。然后，关闭第二容器(90)的门(102)并使门(102)密封贴靠到门密封件(104)上。接着，用氮气对第二容器(90)进行清洗，以从第二容器(90)的内部排出潮气和活性气体。接下来，包括有集成电路基片的车(5)运送到下一加工区域。可使用本发明的车设备制造集成电路和其它物品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 运送 物品 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、一种用于在制造环境下运送物品的车，其包括：一个第一容器，该第一容器具有一个用于密封第一容器的门的第一密封件，和一个用于通过第一气体清洗第一容器的第一环境控制装置，第一环境控制装置包括一个用于控制第一气体通过第一容器的流动的清洗控制阀；以及一个包围第一容器的第二容器，该第二容器具有一个用于密封第二容器的门的第二密封件，和一个用于通过第二气体清洗第二容器的第二环境控制装置，该第二环境控制装置包括一个用于控制第二气体通过第二容器的流动的清洗控制阀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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