[发明专利]闪烁器面板和放射线图象传感器无效
申请号: | 00806329.X | 申请日: | 2000-04-13 |
公开(公告)号: | CN1347507A | 公开(公告)日: | 2002-05-01 |
发明(设计)人: | 本目卓也;高林敏雄 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在闪烁器面板1的a-C制的基片10的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ag膜12。这个Ag膜12的整个表面被用于保护Ag膜12的SiN膜14覆盖。在这个SiN膜14的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器16。这个闪烁器16和基片10一起被聚对二甲苯膜18覆盖。 | ||
搜索关键词: | 闪烁 面板 放射线 图象 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种闪烁器面板,它的特征是它备有透过放射线的基片,设置在上述基片上的反射性金属薄膜,覆盖上述反射性金属薄膜全体的保护膜,和堆积在上述保护膜上的闪烁器。
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