[发明专利]致动器单元无效
| 申请号： | 00806366.4 | 申请日： | 2000-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1347386A | 公开（公告）日： | 2002-05-01 |
| 发明（设计）人： | K·西尔弗布鲁克 | 申请（专利权）人： | 西尔弗布鲁克研究有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 沙捷 |
| 地址： | 澳大利亚新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于微机电装置的致动器单元,包括一个可移动臂,它至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成。这种合成物有很高的氧化温度,能经受致动器单元在短时间内产生的高温。在一个实施例中,该致动器单元在喷墨打印机中构成热弯曲致动器部件。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 单元 | ||
【主权项】：
1.一种构成微机电装置一部分的致动器单元，它包括一个在一端连接到基底的可移动臂，并且，它至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成。
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