[发明专利]结晶的连续提拉方法和装置无效
申请号: | 00806873.9 | 申请日: | 2000-04-21 |
公开(公告)号: | CN1150355C | 公开(公告)日: | 2004-05-19 |
发明(设计)人: | 藤田健太郎;寺尾健二;矶崎秀之;佐藤岩 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/64;C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种用于提拉晶体的方法,其能在开始晶体生长时将晶种准确地下降至熔融液体的指定位置并在生长开始时连续地提拉该晶体,和一种用于该方法的装置。用于连续提拉晶体的该装置的特征在于:包括:一用于垂直方向提拉晶种和在该晶种末端生长的带状晶体的直线提拉装置(30),一用于夹持并连续提拉所述带状晶体的提拉机构(40),一用于在通过提拉装置(30)提拉的晶种通过提拉机构(40)之后转换成由所述提拉机构(40)连续提拉的转换机构和一用于切断晶种(12)和带状晶体(16)的切割机构(39)。 | ||
搜索关键词: | 结晶 连续 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种连续生长晶体的方法,包括:采用直线提拉装置在垂直方向上提拉晶种和在该晶种末端上生长的晶体以在所述晶种上生长带状晶体,和使用具有连续提拉机构的连续提拉装置持续提拉带状晶体。
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