[发明专利]用于薄膜沉积的方法和吸气装置有效
| 申请号： | 00807050.4 | 申请日： | 2000-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1349565A | 公开（公告）日： | 2002-05-15 |
| 发明（设计）人： | A·康特;F·马嘉;M·莫拉加 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F04B37/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种当无基体处理并且当处理室内的反应性气体压力低于约10－3毫巴时,通过采用在处理室内已存在的用于操纵和加热制备基体的步骤和设备,将活化的吸气装置与处理室的气氛接触,来提高在基体上沉积薄膜过程的产率的方法。该方法在按照包括在打开处理室和开始制备过程之间的操作步骤(1;2;3;4)顺序应用时尤其有用。也对适合用于所述方法的吸气装置(50;60;70)进行了介绍。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 方法 吸气 装置 | ||
【主权项】：
1.用于提高基体上薄膜沉积过程的产率的方法，包括当处理室中的反应性气体分压之和低于约10-3毫巴，而且，当未对实际的生产基体进行处理时，通过采用在生产步骤中使用的自动基体操纵设备和工序，将处于活化形式的吸气装置与处理室中的工作气氛接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于工程吸气公司，未经工程吸气公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00807050.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
