[发明专利]腐蚀增强层有效

专利信息
申请号: 00807546.8 申请日: 2000-05-12
公开(公告)号: CN1350658A 公开(公告)日: 2002-05-22
发明(设计)人: P·V·纳加拉卡;J·T·理查德;L·S·希思;C·A·基乌里;R·森;J·拉姆;D·W·麦卡锡 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00;B41C1/10;G02F1/1343
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 钱慰民
地址: 美国明*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种在制造基本透明电极结构中有用的可腐蚀层状成象介质,它包括衬底、高折射率金属氧化物层、可腐蚀金属导电层、高折射率金属氧化物导电层和腐蚀增强层。腐蚀增强层的红外吸收大于高折射率金属氧化物导电层的红外吸收,而其红外反射率小于所述高折射率金属氧化物导电层的红外反射率。层状成象介质中存在腐蚀增强层可以降低介质的曝光阈值并改善腐蚀精度,在制造LCD电极图形时,这两项优点将最终共同产生一个更可靠的电学结构,不易发生不希望有的“短路”。
搜索关键词: 腐蚀 增强
【主权项】:
1.一种对制造基本上透明的电极结构有用的可腐蚀层状成象介质,其特征在于,包括:(a)衬底;(b)高折射率金属氧化物层;(c)可腐蚀金属导电层;(d)高折射率金属氧化物导电层;和(e)腐蚀增强层,其红外吸收大于所述高折射率金属氧化物导电层的红外吸收,其红外反射率小于所述高折射率金属氧化物导电层的红外反射率。
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