[发明专利]保护气罩设备

摘要

一种气罩组件用于保护在化学汽相淀积系统中的喷射器的暴露表面。该气罩组件包括一个后壁,该后壁支承穿孔板以形成一通风系统。穿孔板借助端帽固定在位。一条管道向通风系统中供应气体。管道包括一个沿后壁延伸的伸展部并具有邻近后壁的弯头。管道包括沿伸展部和在弯头上的穿孔,以便形成进入通风系统和端部的基本均匀的气体流。

主权项

1.一种保护气罩设备，包括：一个带有后壁的罩本体，所述后壁带有从所述本体的侧部和端部向外延伸的凸缘，一个从所述后壁由所述凸缘间隔开来支承的穿孔板装置，所述后壁和穿孔板形成一通风系统，至少两条管道伸入所述通风系统，每条管道从所述罩本体的一侧向内间隔开来，以便将惰性气体送至所述通风系统，使气体从所述穿孔板向外流动，以及接合所述本体的每个端部和所述穿孔板的边缘的端帽，将穿孔板固定在罩本体上，同时使穿孔板能够膨胀和收缩。