[发明专利]用于SMIF和开启容器的通用工具接口和/或工件传送装置有效
| 申请号： | 00808427.0 | 申请日： | 2000-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1354891A | 公开（公告）日： | 2002-06-19 |
| 发明（设计）人： | 安东尼·C·博诺拉;爱德华·J·科尔特斯;J·马克·迪帕奥拉;罗伯特·R·内奇 | 申请（专利权）人： | 阿西斯特技术公司 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 何秀明,李晓舒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种通用SMIF容器接口和晶片盒传送装置(100),可构成为分度器或负载通道开启器。该装置包括具有中心开口(175)的通道板(102)和通道门(104),当没有容器时,所述通道门配置在中心开口内并密封中心开口。该装置还包括线性驱动螺杆(120)、电机(114)和用于旋转线性驱动螺杆的传动装置(118,124,122)。利用线性驱动螺杆可使支架(128)垂直移动。作为分度器时将通道板安装到支架上,以使通道板可在固定的通道门上方垂直移动。作为负载通道开启器时将通道门安装到支架上,以使通道门可在固定的通道板下方垂直移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 smif 开启 容器 通用 工具 接口 工件 传送 装置 | ||
【主权项】：
1.在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置，该容器包括容器门和容器壳，该装置包括：一底座；一固定于所述底座的框架；一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件；一能够支撑容器壳的通道板，所述通道板可固定于所述支架上，以相对于所述框架垂直移动，所述通道板可稳定地固定于所述框架上；一能够支撑容器门的通道门，所述通道门可固定于所述支架上，以相对于所述框架垂直地移动，所述通道门可稳定地固定于所述底座上；和将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的装置。
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