[发明专利]微滴沉积的方法及设备有效
| 申请号： | 00811111.1 | 申请日： | 2000-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1367737A | 公开（公告）日： | 2002-09-04 |
| 发明（设计）人： | R·哈维;P·R·德鲁里 | 申请（专利权）人： | 萨尔技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微滴沉积设备包括具有喷嘴(42)的细长腔室(46),为了沉积,工作中的液体微滴从腔室通过喷嘴喷射,用于通过改变腔室的体积来改变腔室中的液体压力以便实现所述微滴的喷射的装置,以及用于使腔室中的液流增加到补充喷射微滴所需量中的装置(38),流体通过所述喷嘴以便清洗喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微滴沉积方法包括，通过改变该腔室的体积来改变一细长腔室内的液体压力，以便为了沉积而通过腔室的一个端部的一喷嘴喷射微滴，和使该腔室中的液流超出补充喷射微滴的所需量，该流体穿过该喷嘴。
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