[发明专利]抛光系统及其使用方法有效
| 申请号： | 00811637.7 | 申请日： | 2000-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1370207A | 公开（公告）日： | 2002-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王淑敏;弗拉斯塔·布鲁西克考夫曼;史蒂文·K·梅鲁姆宾;周仁杰;艾萨克·K·彻里安 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉,贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于抛光多层基板的一层或多层的系统,该多层基板包括第一金属层与第二层,该系统包括(i)一种液态载体、(ii)至少一种氧化剂、(iii)至少一种抛光添加剂,其可提高该系统抛光该基板至少一层的速率,其中该抛光添加剂选自焦磷酸盐、缩合磷酸盐、膦酸与其盐类、胺类、氨基醇类、酰胺类、亚胺类、亚胺基酸、腈类、硝基类、硫醇类、硫代酯类、硫醚类、硫代羟酸类、硫代羰酸类、硫代羧酸类、硫代水杨酸类与其混合物,以及(iv)一种抛光垫和/或一种磨料。本发明亦提供一种抛光基板的方法,包括使基板表面与该系统接触,并抛光该基板至少一部分。此外,本发明提供一种抛光多层基板的一层或多层的方法,该基板包括第一金属层与第二层,包括(a)使该第一金属层与该系统接触,以及(b)以该系统抛光该第一金属层,直到自该基板去除至少一部分第一金属层为止。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光一种多层基板的一层或多层的系统，该多层基板包括第一金属层与第二层，该系统包括(i)一种液态载体、(ii)至少一种氧化剂、(iii)至少一种抛光添加剂，其提高该系统抛光该基板至少一层的速率，其中该抛光添加剂选自焦磷酸盐、缩合磷酸盐、膦酸与其盐类、胺类、氨基醇类、酰胺类、亚胺类、亚胺基酸、腈类、硝基类、硫醇类、硫代酯类、硫醚类、硫代羟酸类、硫代羰酸类、硫代羧酸类、硫代水杨酸类与其混合物，以及(iv)一种抛光垫和/或一种磨料。
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