[发明专利]微桥结构无效
| 申请号： | 00812023.4 | 申请日： | 2000-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1371474A | 公开（公告）日： | 2002-09-25 |
| 发明（设计）人： | J·P·吉尔哈姆;R·瓦顿;J·C·阿尔德曼 | 申请（专利权）人： | 秦内蒂克有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,梁永 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种加工微桥结构(14,16)于衬底(20)上的方法。该方法包括以下步骤设置牺牲材料(32)于衬底(20)的表面区域形成图案的方式刻蚀牺牲材料(32);设置传感材料(34)于牺牲材料的表面区域;设置支撑材料(36)于传感材料的表面区域;以及去除牺牲材料(32)留下支撑材料(36)及传感材料(34)于其下表面上,基本上独立于衬底(20)之上。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
1.一种测热辐射计，该测热辐射计包括一个微桥结构悬于一个衬底的空隙之上以及包括一个支撑元件携有传感材料在其底下，传感材料则暴露于空隙并连接至衬底上的轨道。
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