[发明专利]显微制造的器件中的移位的磁传感无效
| 申请号： | 00812674.7 | 申请日： | 2000-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1373891A | 公开（公告）日： | 2002-10-09 |
| 发明（设计）人： | 彼得·布洛克尔;克里斯托夫·P·罗塞尔;米歇尔·威尔明 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;菲西克研究院 |
| 主分类号： | G12B21/08 | 分类号： | G12B21/08;G12B21/04;G01B7/34;G01N27/00;G11B21/21;G11B9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王志森,黄小临 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种用于测量纳米级的位移的磁传感单元。为此,微型器件中的可动部分和固定部分包括一具有磁场的磁性元件及磁传感器。磁性元件位于可动部分上,磁传感器位于固定部分上;或者,所述磁传感器位于可动部分上,所述磁性元件位于所述固定部分上;固定部分和/或磁性元件是微型器件的一个集成部分。磁性元件和磁传感器彼此相对配置,使得当可动部分位移时,通过利用磁传感器可检测在磁传感器处的所述磁场的变化。应用场合是扫描探针显微镜中的悬臂梁的偏转检测或存储器件中的浮动的头。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 制造 器件 中的 移位 传感 | ||
【主权项】：
1.一种磁传感单元，用于测量微型器件中的可动部分(10)和固定部分(12)之间的位移，包括：具有磁场的磁性元件(1)；以及磁传感器(2)；所述磁性元件(1)位于可动部分(10)上，所述磁传感器(2)位于所述固定部分(12)上；或者所述磁传感器(2)位于可动部分(10)上，所述磁性元件(1)位于所述固定部分(12)上；所述磁传感器(2)和/或所述磁性元件(1)是所述微型器件的一个集成部分，以及所述磁性元件(1)和所述磁传感器(2)彼此相对配置，当所述可动部分(10)位移时，通过利用所述磁传感器(2)可检测在所述磁传感器(2)处的所述磁场的变化。
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