[发明专利]平行机械装置及检查装置无效
| 申请号： | 00813299.2 | 申请日： | 2000-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1376265A | 公开（公告）日： | 2002-10-23 |
| 发明（设计）人： | 冈田尚史;中原尚寿;高桥一;木场博之;广濑和也 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社;赫海斯特精工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;F16H21/46 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检查装置,备有至少3个可伸缩的直动促动器(5)、(12)、(13)、行走驱动机构、载物台支承部(23)和基板座(24)。上述行走驱动机构,将直动促动器(5)、(12)、(13)的基端部可沿导轨(2)、(6)、(7)直线移动地支承着,并且,在这些导轨(2)、(6)、(7)的至少一个上,具有随着直动促动器(12)、(13)的移动而高度变化的倾斜部(102)、(103)。上述载物台支承部(23),支承在直动促动器(5)、(12)、(13)的前端部。上述基板座(24)设在该可动部件上,用于保持被检体。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 机械 装置 检查 | ||
【主权项】：
1.平行机械装置，其特征在于，备有至少3个可伸缩的直动促动器、行走驱动机构和可动部件；上述行走驱动机构，将这些直动促动器的基端部可沿各行走路直线移动地支承着，并且，在这些行走路的至少一个上，具有随着所述直动促动器的移动而高度变化的倾斜部；上述可动部件，支承在所述直动促动器的前端。
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