[发明专利]远紫外激光使石英玻璃内部密度增大无效
| 申请号： | 00813577.0 | 申请日： | 2000-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1377470A | 公开（公告）日： | 2002-10-30 |
| 发明（设计）人： | N·F·伯瑞利;D·C·艾兰;C·M·史密斯 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/02 | 分类号： | G02B6/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在块状玻璃基板(4)中写入光导结构的方法,包括选择用软石英基材料制成的块状基板(4)。准分子激光束(5)聚焦在基板内的焦点(3)上,同时使焦点沿扫描路径相对基板移动。激光束(5)以这样的扫描速度移动,即使得沿扫描路径上的材料相对于未曝光材料能导致折射率增大,而同时扫描路径上材料很少发生因激光引起的损伤。可用这一方法制造各种光学器件,包括波导。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 石英玻璃 内部 密度 增大 | ||
【主权项】：
1.一种在块状玻璃基板内部写入光波导结构的方法，其特征在于，所述方法包括：a)选择用软石英基材料制成的块状玻璃基板；和b)将远紫外激光束聚焦到所述材料内的焦点上，而所述焦点沿一扫描路径以一扫描速度相对于所述基板移动，使沿所述的扫描路径的材料密度相对于未曝光材料有效增大，而沿所述的扫描路径的材料基本上不产生因激光而引起的损伤。
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