[发明专利]直接冲击式温度控制构件

摘要

一种控制装置温度的构件和系统，所述构件包括使装置暴露于其加热/冷却区域的主体，一端暴露于加热/冷却区域并设置在主体中的加热通道，以及一端暴露于加热/冷却区域并设置在主体中的冷却通道。加热和冷却通道设置在主体中以便在加热通道中传播的能量与在冷却通道中传播的气体混合，且加热和冷却源在加热区域中直接冲击装置。由于加热和冷却源直接冲击装置，所以温度控制系统可具有较低的热质量，且装置温度可在较热温度和较冷温度之间迅速变化。另外，由于加热和冷却源直接冲击装置，所以装置提供了快速的热响应，但热性能良好。另外，温度控制构件包括真空系统，其将装置保持在温度控制构件上，同时容许与用于测试的装置良好地电接触。

主权项

1.一种可设置一个装置的温度控制构件，所述温度控制构件包括：一个主体，其具有一个接收所述装置的支承面和一个加热/冷却区域；一个或多个延伸到所述主体中的气体通道，每一个所述气体通道均具有适于接收一个气体源的第一口；一个或多个延伸到所述主体中的光学透明通道，所述一个或多个光学透明通道中的每一个通道均具有终止在所述主体的加热/冷却区域中一个小孔处的第一端以及适于接收激光信号的第二端，其特征在于：所述一个或多个光学透明通道中每一个通道的至少一部分均与一个所述气体通道的至少一部分相交，以便经所述气体通道的第一口供给的气体能经一个孔口排出以使气体膨胀并冷却而进入加热/冷却区域，同时容许所述激光通过。