[发明专利]有机金属化学气相沉积工艺过程流出物的原地空气氧化处理无效
| 申请号： | 00816124.0 | 申请日： | 2000-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1420803A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 丽贝卡·福勒;马克·霍尔斯特 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;B01J19/02;B01D53/00;B01D53/04;B01D53/22;A62D3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁香兰,丁业平 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于消除含氢化物的流出物中的氢化物的流出物消除系统(10)，设置该系统以进行下列步骤使含氢化物的流出物与一种干式涤气材料接触，直至干式涤气材料消除氢化物的能力至少部分损耗，所述的干式涤气材料含有可与氢化物反应的金属氧化物，以实质性地除去流出物中的氢化物；使能力至少部分损耗的干式涤气材料与一种氧化剂接触，以至少部分恢复干式涤气材料消除氢化物的能力。本发明的系统特别适用于处理来自半导体制造厂(36)的III－V化合物半导体制造作业的流出物。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化学 沉积 工艺 过程 流出物 原地 空气氧化 处理 | ||
【主权项】：
1.一种流出物消除方法，用于消除含氢化物的流出物中的氢化物，所述的方法包括(1)使含氢化物的流出物与一种干式涤气材料接触，直至干式涤气材料消除氢化物的能力至少部分损耗，所述的干式涤气材料含有可与氢化物反应的金属氧化物，以实质性地除去流出物中的氢化物，和(2)使能力至少部分损耗的干式涤气材料与一种氧化剂接触，以至少部分恢复干式涤气材料消除氢化物的能力。
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