[发明专利]无机/有机介电薄膜的沉积系统及方法

摘要

提供了一种在衬底表面上沉积介电膜的系统和方法，所述系统具有一个带有用于支撑衬底的衬底支架的处理室和一个或多个用于将气体送入处理室的气体入口，提供了在所述处理室内确定第一个等离子体区的第一个等离子体源，而且，还提供了在所述处理室内确定第二个等离子体区的第二个等离子体源。气体分别在所述第一个和第二个等离子体区发生不同程度的离子化，而且，这些分别离子化的气体发生反应，在衬底表面上形成介电膜。

主权项

1.在衬底表面上沉积介电薄膜的系统，包括：具有用于支撑衬底的衬底支架的处理室和一个或多个用于将气体送入处理室的气体入口；在所述处理室内确定第一个等离子体区的第一个等离子体源；以及在所述处理室内确定第二个等离子体区的第二个等离子体源；其中，所述气体在所述第一个和第二个等离子体区分别发生不同程度的离子化，并且，所述分别离子化的气体发生反应，在所述衬底表面上形成介电膜。