[发明专利]等离子体反应器电极的制造方法及这种电极无效
| 申请号： | 00817729.5 | 申请日： | 2000-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1413355A | 公开（公告）日： | 2003-04-23 |
| 发明（设计）人： | 斯杰德·凡登克努杰森;罗伯特斯·J·凡里乌恩;马瑟·M·米切瑞尔斯 | 申请（专利权）人： | 齐卡博制陶业有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 荷兰海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体反应器的电极制造方法，包括通过收缩连接在电和机械地互连支撑环和设有通孔的电极板的步骤，其中连接步骤还包括将导电层施加于电极板和支撑环之间的结合界面。此外，在施加有导电层的结合界面处装有电极，其中所述支撑环和所述电极包括互锁部件。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 电极 制造 方法 这种 | ||
【主权项】：
1.等离子体反应器电极的一种制造方法，包括借助于收缩连接电和机械地互连支撑环与设有通孔的电极板的步骤，其特征在于，所述连接步骤还包括向电极板与支撑环之间的结合界面施涂导电层。
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