[发明专利]MEMS光开关及其制造方法无效
| 申请号： | 00818369.4 | 申请日： | 2000-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1423755A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | J·G·库亚德 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在平面光路基片(30)上的光开关(20)包括悬臂(40),其具有可选择性延伸至基片的波导斜槽(12)中的控制元件,可用于切换波导(24)所传输的光信号。臂(40)可以由热和压电驱动器来驱动,用于在允许信号继续沿波导传输的静止位置和采用在斜槽(12)中的控制元件(32)来堵塞或改变信号方向的第二位置之间偏转。第二臂可具有侧向移动并可根据悬臂的驱动以覆盖和锁定在第二位置上的悬臂(40),从而使得开关能在没有控制信号进一步作用下维持在驱动状态。MEMS开关阵列由单晶片采用腐蚀方法制成且与波导阵列键合在一起,以提供多个开关模块。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光开关包括：包括光波导的基片，其中波导又包括了空间相分开的端口；以悬臂方式安装在基片上的臂；用于以垂直于基片平面的平面内偏转上述的臂的驱动器；以及，安装在上述臂上的控制元件，从而臂的驱动使得控制元件在端口之间移动以控制波导中光能量的传输。
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