[发明专利]包含聚合氨基塑料的改进减反射涂料组合物有效
| 申请号： | 00819441.6 | 申请日： | 2000-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1452521A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | R·普利吉达;R·黄 | 申请（专利权）人： | 部鲁尔科学公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;B05D5/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供用于集成电路制造工艺的改进减反射涂料组合物以及形成这些组合物的方法。通常，通过在酸性条件下加热溶液，使化合物聚合形成平均分子量至少约1000道尔顿的聚合物来形成组合物，所述溶液包括包含特殊化合物(例如烷氧基烷基蜜胺、烷氧基烷基苯胍胺)的化合物。得到的聚合物的单体通过连接基团(例如－CH2－、－CH2－O－CH2－)连接在一起，所述连接基团连接到相应单体的氮原子上。使聚合的化合物与溶剂混合，并施涂到基材表面上，然后烘烤形成减反射层。得到的层具有高的k值并能制造成用于贴合和平面的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 聚合 氨基塑料 改进 反射 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成减反射涂层的聚合物组合物的制备方法，它包括下列步骤：提供分散体，它包括在分散剂中的一定量的式I化合物；在所述每升分散体中加入约0.001-1摩尔酸；以及把所述分散体加热到至少约70℃至少约达2小时，得到聚合物组合物。
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