[发明专利]把光学信号光学产生的电荷存储在固态成象装置中的方法

摘要

把由光学信号光学产生的电荷存储在固态成象装置中的方法，包括：制备带有一个单元象素的固态成象装置，该单元象素包括光电二极管111和MOSFET 112，MOSFET 112带有用来存储在光电二极管111中光学产生电荷的载流子袋25，载流子袋25提供在源极区域16附近的沟道区域15c下；把光学产生电荷转移到载流子袋25及然后存储在其中，并把沟道区域15c保持在一种累积状态，从而光学产生电荷不受沟道区域15c中界面层的影响。

主权项

1.一种把由光学信号光学产生的电荷存储在一个固态成象装置中的方法，包括步骤：(i)制备包括一个单元象素的固态成象装置，该单元象素包括(a)一个光电二极管，提供有第一电导类型的阱区域以及形成在该阱区域上的第二电导类型的掺杂区域，从而该光电二极管具有一种埋入结构，和(b)一个用于光学信号检测的场效应晶体管，形成在与光电二极管相邻的阱区域中，该场效应晶体管包括(1)一个第二电导类型的源极区域，形成在该阱区域中，(2)一个第二电导类型的漏极区域，形成在该阱区域中并且连接到该掺杂区域，(3)一个沟道区域，形成在该第二电导类型的源极区域与该第二电导类型的漏极区域之间的阱区域的表面层上，和(4)一个栅电极，通过内插一栅极绝缘膜形成在沟道区域上，以及(5)一个第一电导类型的载流子袋，其中掺杂浓度被设置为比该阱区域中高，该载流子袋提供在沟道区域下的阱区域中；(ii)在光电二极管中通过光照射产生光学产生第一电导类型的电荷；(iii)把光学产生电荷转移到载流子袋，同时通过向栅电极施加栅电位来累积与整个沟道区域上的源极区域相同的电导类型的可移动电荷；(iv)把光学产生电荷存储到载流子袋中，同时通过向栅电极施加栅电位来累积与整个沟道区域上的源极区域相同的电导类型的可移动电荷。